检测设备制造商
特点：
? 性能和成本的极佳平衡，具有极佳性价比
? 低噪数字式轮廓传感器
? 宽范围无导头粗糙度传感器
? 大量程轮廓测量、微观轮廓度测量
? 宽范围粗糙度测量
? 高精度大量程粗糙度、高精度大量程轮廓测量的复合机型
技术参数
轮廓仪部分技术参数 | 线性精度1 | ≤土(0.8 |0.12H|) μ m |
圆弧2 | ≤士(1.5 R/12) μm | |
角度3 | ≤土1' | |
直线度4 | ≤0.5μm/100mm | |
粗糙度部分技术参数 | 线性精度 | ≤土(5nm 2. 8%) |
残值噪声5 | ≤0.005μm | |
重复性6 | 1δ≤1nm | |
截止波长 | 0.025、0.08、 0.25、0. 8、2. 5、8mm | |
评定长度 | λcX2、3、4、5、6、7 | |
运动控制 | X轴驱动方式 | 电动 |
Z轴驱动方式 | 电动 | |
X轴驱动速度 | 0.05~15mm/s | |
Z轴驱动速度 | 0.2~15mm/s. |
